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金刚石砂轮制备技术

    金刚石砂轮制备技术

    金刚石砂轮制造技术员是目前具有代表性的金刚石生长技术之一,早在上个世纪80年代,日本DFGFDF等人用热丝去沉积出了高质量的多晶刚石膜,从此以后,出现了很多不同的代学气相沉积金刚石膜系统,如热丝法,微波等离子法,直流离子辅肋法,火焰燃烧法,在热丝的作用最为关键,它不仅可以使氢分子部分地离解成原子,还可以加速甲烷气体分解赠生具有合成金刚石必须的SP杂化轨道的碳原子基团,氢原子可以饱和生长中的金刚石表面碳原子,悬空的SP分子,形成C-H组合成SP,而使金刚石表面趋于稳定,同时它也可以去除与金刚石共同沉积的石墨及无定型碳,为了增强热丝活化区域和温场均匀分布.必须特别注意热丝的排布方式.

       当前,代表性金刚石砂轮生长技术员是大面积热丝技术各大功率徽波技术,,大面积的热丝技术是当前广泛应用和比较成熟的产业化技术,它的生长面积已积过到直径500MM以上,该方法在涂层应用方面相当成功.代表性企业有很多.

       10年来.我国开发了部分世界上现有生长技术,其中,开发最好是热丝金刚石砂轮设备技术,现阶段生长工艺技术基本成熟,已经开始成规模的产业化生产,有批量的产品进入国内外市场,技术在国际也有所成绩.

         由于热丝代学气相沉积金刚石薄膜技术的成本较低.设备简单,而且易于大面积生长,因此.该方法能够生产出低成本,且适宜于工业应用的金刚石薄膜,便热丝法需要控制因素很多,任何一个因素控制不好,就会得到质量不好的金刚石砂轮薄膜,甚至沉积不出金刚石薄膜,.所以有必要对其影响进行研究.


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